全面維護為我公司為最終用戶提供的一項增值服務，通過全面維護，讓舊設(shè)備基本恢復到新設(shè)備的性能，能夠保證設(shè)備長時間穩(wěn)定運行，解決客戶的后顧之憂。
建議客戶最多2年要做一次設(shè)備的全面維護，每次需要約5天（依靠與客戶的配合），全面維護的工作范圍包括：
1、更換密封圈，包括：真空室、電弧靶、濺射靶、離子源、閥門、加熱器等零件密封圈；
2、清理清潔：內(nèi)襯板、擋板、加熱器、布氣管、泵組、控制柜、電源柜等；
3、更換耗材：泵油、引弧針、過濾器、絕緣件、軸承、冷卻管路等；
4、儀器校準：真空計、流量計等；
5、性能測試：設(shè)備各個部件、整體運行和真空性能指標正常；
6、維護報告：給用戶出具全面維護保養(yǎng)證明；
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