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鍍膜設(shè)備

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行業(yè)應(yīng)用解決方案：
● 模具
● 齒輪刀具
● 切削工具...

AS500是全自動(dòng)、試驗(yàn)（?。┬汀⒍喙δ?a href='http://m.gh91.net/tech/pvd/' target='_blank'>PVD硬質(zhì)鍍膜涂層設(shè)備，具體技術(shù)規(guī)格如下：

真空室尺寸	Ø760mm * H700mm
均勻可鍍區(qū)	Ø500mm * H300mm
極限真空度	3.0*10-4Pa
壓升率	0.33Pa/hr（常態(tài)）
冷卻水	5ton/hr
占據(jù)空間	4.03.03.5m3
真空室	日韓304不銹鋼，雙層內(nèi)襯，五年質(zhì)保
抽氣系統(tǒng)	Edwards/Leybold磁懸浮分子泵+Leybold粗抽泵
真空檢測	Inficond薄膜規(guī)+SKY90復(fù)合真空計(jì)
流量控制	七星華創(chuàng)7S-CS200數(shù)字流量計(jì)/Brooks/MKS/AE
轉(zhuǎn)架	可移出式下轉(zhuǎn)架（4軸）
陰極電弧	最多2組（4套）4G-CAE（靶材規(guī)格100*20）
磁控濺射	最多2組（4套）柱狀或者平面
氣體離子源	陽極層流型氣體離子源1套
偏壓電源	AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW
智能源擋板	1套，實(shí)現(xiàn)鍍膜前的靶材預(yù)清洗
加熱系統(tǒng)	最高500度，3根熱電偶監(jiān)測
冷卻水循環(huán)系統(tǒng)	配日本SMC水流開關(guān)，智能控制
電氣元件	日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器

可選裝如下配置：

1、HIPIMS高能脈沖磁控濺射系統(tǒng)

2、獨(dú)立公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)

3、超高真空爐體 5.0* 10-5Pa

4、Gencoa：Speedflo system

5、標(biāo)準(zhǔn)夾具

6、專用工件烤箱、冰水機(jī)、噴砂機(jī)等附屬設(shè)備

丹普 真空鍍膜機(jī)設(shè)備嚴(yán)格執(zhí)行歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范設(shè)計(jì)和制造。

索取離子鍍膜機(jī)報(bào)價(jià)及行業(yè)解決方案：huzhongjun@naura.com

設(shè)備展示

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