- 詳細介紹
AS2GX和AS4GX系列是專門針對眼鏡架等中小型產(chǎn)品設計的機型，該機型在客戶處經(jīng)受了大規(guī)模生產(chǎn)和長期的考驗，特別是AS2GX系列設備，暢銷15年，具有很強的通用性，結構成熟、運行穩(wěn)定、得到了市場和用戶的一致肯定，具體技術規(guī)格如下：
| 真空室尺寸 | Ø1250mm * H1000mm |
| 均勻可鍍區(qū) | Ø1000mm * H650mm |
| 極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 壓升率 | 0.33Pa/hr（常態(tài)） |
| 冷卻水 | 6ton/hr |
| 占據(jù)空間 | 4.5*4.0*3.5m3 |
| 真空室 | 日韓304不銹鋼，雙層內(nèi)襯，五年質(zhì)保 |
| 抽氣系統(tǒng) | KYKY分子泵/Edwards/Leybold磁懸浮分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
| 真空檢測 | Inficond薄膜規(guī)+SKY90復合真空計 |
| 流量控制 | 七星華創(chuàng)7S-CS200數(shù)字流量計/Brooks/MKS/AE |
| 轉(zhuǎn)架 | 上吊裝轉(zhuǎn)架或可移出式下轉(zhuǎn)架任選 |
| 陰極電弧 | 最多2組（6套）CAE（靶材規(guī)格100*40） |
| 磁控濺射 | 最多2組（4套）柱狀或者平面濺射靶 |
| 氣體離子源 | 陽極層流型氣體離子源1套 |
| 偏壓電源 | AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW |
| 智能源擋板 | 1套，實現(xiàn)鍍膜前的靶材預清洗 |
| 加熱系統(tǒng) | 最高300度，2根熱電偶監(jiān)測 |
| 冷卻水循環(huán)系統(tǒng) | 配日本SMC水流開關，智能控制 |
| 電氣元件 | 日本歐姆龍PLC、端子、施耐德等空開、接觸器 |
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